INDEX로부터 공급 받은 Cell을 Air Floating 후 기구적인 Align을 한 뒤, Air Floating 상태에서 Cell 이송 장치를 이용하여 Vision 검사를 하여 DAM 선폭과 외관 Scratch, 이물, 기포, 얼룩, 합작 정도를 검출하는 장비입니다.
Cell Size | 1,250 x 2200(mm) |
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Tact Time | 350sec |
Panel Type | Glass |
Air Floating Accuracy | ±2um |
Inspection Height | 2335mm |
Pass Line | INDEX Loading : 2480mm |
Dimension | L 3,000 x W 4,400 x H 4,260(mm) |
* 상기 Specification은 Inspection Cell Size에 따라 변경됨.