- 고정세화(1.5㎛이하)되고있는 "LTPS" 제조를 위한 노광기 개발
- 경쟁사대비 우수한 Throughput 구현 가능한 Bump Stepper 개발
- Flexible Substrate 대응가능한 Roll to Roll 개념의 노광기 개발(Reel to Reel, Substrate
Width 160mm) 향후, Plastic 기판의 Flexible Display 제조에 필수불가결한 Flex 노광기
개발(1㎛이하)
