简介

MacMic System是一种可进行微观检查和宏观检查的检查系统。

• MACRO : Macro System是从Index供应的Glass，使用照明装置，按Stage检查角度用肉眼检查Glass Mura及Scratch的设备。
• MICRO : Micro system是从Index供应的Glass使用 Microscope进行精密检查的设备。

通过之前工程获得的Defect信息，将设置在Linear Motor上端的Microscope位置移动至Defect X、 Y坐标，通过Auto Focusing检测出Defect。Defect信息显示在LCD Monitor上。