简介

  • OLED Glass制作工序时,检测Scribing & Edge Grinder时可能发生的Cell外观的各种Defect缺陷(Scratch,Chipping等)的设备。
  • 使用Glass移送用Picker移送至Vision部,将位于Air Floating的Glass Air Blow后移送至Shuttle Moving Unit,进行与Stage非接触式的Vision检查。


主要组成品

  • Picker Unit : 将Glass移送至 Inspection Area 并Unloading的装置
  • Air Floating : 使用Air将Glass提升的装置
  • Shuttle Moving Unit : 使用Air Floating提升的Glass,仅抓住最起码的部分通过Vision Inspection Zone的装置
  • Vision Inspection Unit : 检测各种Defect缺陷(Scratch, Chipping等)的装置



设备核心规格n

Scan Speed 500mm/s
Inspection Defect Size ≥50um (Edge as standard)
Illumination type Exterior Coaxial, Side illumination
Align Type Vision Align
Dimension L 9,750 * W 3,450 * H 4,040(㎜)

* 以上规格根据Inspection Cell 尺寸而改变。