简介

从Index接收的Cell Air Floating后, 机械对位, 在Air Floating状态下，使用Cell移送装置进行Vision检测 DAM线幅、外观Scratch、异物、气泡、斑点及胶合程度的设备。

主要组成品

• Pin Up Unit : 在Stage上放置Cell的装置
• Air Floating : 使用气动使Cell浮上的装置
• Shuttle Unit : 移送Air Floating状态的Cell装置
• Inspection Unit : Vision

设备核心规格n

Cell Size	1,250 x 2200(mm)
Tact Time	350sec
Panel Type	Glass
Air Floating Accuracy	±2um
Inspection Height	2335mm
Pass Line	INDEX Loading : 2480mm
Dimension	L 3,000 x W 4,400 x H 4,260(mm)

* 以上规格根据Inspection Cell 尺寸而改变。