简介

投入TFT Array Pattern形成的Glass，使用Camera精密对位后，通过自动投入的Probe Unit, 以各Cell单位进行Contact, 确认有无Array Pattern不良的设备。

主要组成品

• Glass Loader : Glass Load/Unload, Turn/初次对位
• Stage : 将Glass移送至Vacuum及Probe Unit Position的装置
• Contact : 点灯装置
• UVW : 细微 Aligner
• Review Camera : 不良影像获取装置
• Device Change : Option (Probe Unit Stocker)
• Test Station : Array Pattern不良有无检测装置

设备核心规格n

Inspection Cell Size	4.5G , ~ 6G
Panel Thickness	Min : 0.3mm, Max: 1.1mm (Base on single plate)
Panel Alignment Method & Accuracy	UVW Stage Align (± 3㎛)
Inspection Tact Time	1.5~2.0sec(unit : Stick)
Inspection Height	1,200~2,000mm (TBD)
Pass Line	1,300~2,100mm (TBD)
Review Camera	2.5x ~ 50x (Objective Lens)
System Main Control	I/PC : industrial PC

* 以上规格根据Inspection Cell 尺寸而改变。