简介

• 本设备是NANO LED 制造工序中，在基板接线作业后检查接线有无异常、判定不良的设备。
• 安装在检查上的基板利用光学仪器对基板的接线部分进行检查, 测量接线阻抗。
• 检查/测定结束后保存不良影像（异常值测定）、提取Data并提供User想要的信息。




主要组成品

• Load / Unload Transfer
• Align Unit : Vision Align
• Inspection Optic System : 使用光学机构获取影像 (Raw Image)
• Probe Unit
• 配线阻抗测定装置

设备核心规格n

Dimension	L 1,600 x W 2,000 x H 1,800(mm)

* 以上规格根据Inspection Cell 尺寸而改变。